12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm

St.Cera 12-inčna vakuumska stezna glava precizno je konstruirana od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino utoranu površinu (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućuje fiksiranje pločice bez savijanja tijekom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala jamče dugoročnu dimenzijsku stabilnost čak i pod ponovljenim ciklusima vakuumiranja.

Tehnički podaci (na temelju 99,8% Al₂O₃):

Primjene:

 Rezanje i graviranje pločica od 300 mm
 Brušenje stražnje strane pločice (tanka podloga pločice)
 Optički pregled i sondiranje
 Stezne glave za privremeno lijepljenje/odljepljivanje

Proizvodnja:

CNC brušeno i polirano do konačne ravnosti, utoreno dijamantnim kotačima, ultrazvučno očišćeno i pakirano u čistoj sobi klase 100. Svaka stezna glava je 100% pregledana na ravnost (laserski interferometar) i dubinu utora (profilometar).

Prednosti:

 Niska razina stvaranja čestica (≤0,05 čestica/cm²)

 Kemijski inertan prema otapalima i kiselinama

 Površina otporna na ESD (otpornost >10¹³ Ω·cm)

Dostupni su prilagođeni uzorci otvora za vakuum i stražnji priključci.