-
Krajnji efektor od visokočistog aluminijevog oksida s keramikom za robote za rukovanje pločicama
St.Cera-in krajnji efektor od aluminijevog oksida precizno je obrađen od 99,8% visokočistog Al₂O₃ pomoću napredne 5-osne CNC brusilice. Naše proizvodne mogućnosti uključuju precizne brusilice i CNC obradne centre, što omogućuje složene geometrije s visokom preciznošću. Krajnji efektor ima tanak profil (tanak samo 1,5 mm) sa suženim vodećim rubom za glatko umetanje pločice. Materijal pruža visoku krutost (Youngov modul 380 GPa), izvrsnu otpornost na habanje i toplinsku stabilnost do 800°C. Svaka jedinica je precizno brušena kako bi se postigla ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i površinska obrada Ra0,1, što osigurava dosljedan kontakt pločice i rad bez čestica u FAB okruženjima poluvodiča. Dostupan je u duljinama od 150 mm do 450 mm, s prilagođenim geometrijama vrha (rubni hvat, Bernoulli, ravni) i montažnim prirubnicama za pristajanje OEM robotima. Opcije površinske završne obrade uključuju preklapanje, poliranje ili ESD disipativni premaz (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA Prilagođeni Bernoullijev krajnji efektor od aluminijevog oksida i keramike
Kao vodeći proizvođač keramičkih krajnjih efektora / rukovačkih ruku, razvili smo nekonvencionalnu krajnju efektor / rukovačku ruku koja odgovara potrebama tog tržišta. Keramička krajnja efektor / rukovačka ruka temeljena na Bernoullijevom principu rada koja može levitirati i transportirati pločicu protokom zraka uz minimalan periferni kontakt.
-
ST.CERA Prilagođeni ESD keramički krajnji efektor
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor za hvatanje od aluminijeve keramike
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijeve keramike
Ovo je keramički krajnji efektor / rukovalačka ruka u obliku ladice koja se koristi u vakuumskim uvjetima.
Keramički krajnji efektor / rukojuća ruka je "otporniji na toplinu", "manje se otklanja" i "lakši" u usporedbi s metalnim.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijeve keramike
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
-
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijeve keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore. Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijevog keramičkog oksida
Ovo je keramički krajnji efektor / rukovalačka ruka u obliku ladice koja se koristi u vakuumskim uvjetima.
Keramički krajnji efektor / rukojuća ruka je "otporniji na toplinu", "manje se otklanja" i "lakši" u usporedbi s metalnim.
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođeno rukovanje pločicama za krajnje efektore od aluminijevog oksida
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore/ruke s ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od onečišćenja, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / ruka za rukovanje sa posebnom tehnologijom premaza je električno izolirana. Također možemo isporučiti ESD keramički materijal koji je električno izoliran bez ikakvog premaza.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃. -
Komponente poluvodičke opreme od aluminijevog keramičkog krajnjeg efektora
Spriječite čestice koje se mogu stvarati s kosih ili nagnutih rubova i stražnje površine dok se pločice transportiraju ili su u kontaktu s krajnjim efektorom / rukom.
Za vodilice je korišten mekani materijal koji ne oštećuje pločicu.
Razrjeđivanje je moguće zahvaljujući ST.CERA-inoj ugrađenoj tehnologiji vakuumskih kanala koja ne koristi ljepila.
Moguće je napraviti rupe za montažu i promijeniti duljinu i širinu baze gdje se krajnji efektor / rukojujuća ruka montira na robota.
Montaža senzora, vijaka i nosača dostupna je kao opcija.
Dizajniran za upotrebu u atmosferi.
-
Prilagođena CNC obrada St.Cera keramičkog krajnjeg efektora
ST.CERA nudi vakuumski keramički krajnji efektor / ruku za rukovanje s ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od onečišćenja, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / rukovalačka ruka s ugrađenim kanalom je izdržljiva i može se koristiti na visokim temperaturama. Štoviše, naši troškovi proizvodnje mogu se smanjiti uklanjanjem nepotrebne montaže.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Antistatički keramički krajnji efektor od aluminijevog oksida
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
