-
Robotska ruka od visokočistog aluminijevog oksida za rukovanje pločicama
St.Cera robotska ruka od aluminijevog keramičkog oksida precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog Al₂O₃ (aluminijevog oksida). Kombinira iznimnu čvrstoću na savijanje (361 MPa), visoku tvrdoću (16 GPa) i nisku gustoću (3,93 g/cm³), što rezultira laganom, ali krustom rukom za prijenos poluvodičkih pločica. Koeficijent toplinskog širenja materijala (7,2 × 10⁻⁶/°C) blisko se podudara s silicijem, minimizirajući toplinsku neusklađenost tijekom obrade.
-
Bernoulli keramički krajnji efektor — beskontaktno rukovanje pločicama za tanke i lomljive pločice
St.Cera Bernoulli keramički krajnji efektor koristi aerodinamički uzgon za rukovanje pločicama bez fizičkog kontakta. Izrađen od visokočistog 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) ili silicijevog karbida (SiC), ima precizno obrađene mlaznice koje izbacuju komprimirani plin kako bi stvorile tanki zračni film između krajnjeg efektora i pločice. Ovaj princip beskontaktnosti eliminira kontaminaciju stražnje strane, odvajanje rubova i oštećenje površine, što ga čini idealnim za tanke (≤100 μm), krhke ili iskrivljene pločice. Keramička podloga pruža visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), malu masu i izvrsnu dimenzijsku stabilnost, osiguravajući ponovljivo pozicioniranje u robotima za prijenos pločica velikom brzinom.
-
Teflonski obloženi keramički krajnji efektor – površina koja se ne lijepi za osjetljivo rukovanje pločicama
St.Cera keramički krajnji efektor s teflonskim (PTFE) premazom kombinira visokočvrstu aluminijevu podlogu s jednoličnim PTFE premazom niskog trenja (debljine 15–30 μm). Premaz pruža izuzetno nizak koeficijent trenja (≤0,1), izvrsnu kemijsku otpornost i svojstva protiv lijepljenja, sprječavajući prianjanje pločice i uklanjajući kontaminaciju stražnje strane. Podloga od keramičke podloge (99,8% Al₂O₃) nudi visoku čvrstoću na savijanje (361–1000 MPa), otpornost na habanje i toplinsku stabilnost do 260°C (granica premaza). Ovaj krajnji efektor idealan je za rukovanje osjetljivim, tankim ili ljepljivim pločicama (npr. nakon fotorezistnog premaza ili kemijskih procesa).
