Teflonski obloženi keramički krajnji efektor – površina koja se ne lijepi za osjetljivo rukovanje pločicama
St.Cera keramički krajnji efektor s teflonskim (PTFE) premazom kombinira visokočvrstu aluminijevu podlogu s jednoličnim PTFE premazom niskog trenja (debljine 15–30 μm). Premaz pruža izuzetno nizak koeficijent trenja (≤0,1), izvrsnu kemijsku otpornost i svojstva protiv lijepljenja, sprječavajući prianjanje pločice i uklanjajući kontaminaciju stražnje strane. Podloga od keramičke podloge (99,8% Al₂O₃) nudi visoku čvrstoću na savijanje (361–1000 MPa), otpornost na habanje i toplinsku stabilnost do 260°C (granica premaza). Ovaj krajnji efektor idealan je za rukovanje osjetljivim, tankim ili ljepljivim pločicama (npr. nakon fotorezistnog premaza ili kemijskih procesa).
Tehnički podaci (na temelju 99,8% Al₂O₃ podloge s PTFE premazom):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal podloge | 99,8% aluminijev oksid (slonova kost) |
| Materijal za premazivanje | PTFE (teflon) |
| Debljina premaza | 15–30 μm |
| Koeficijent trenja (s premazom) | ≤0,1 |
| Savojna čvrstoća podloge (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Tvrdoća podloge (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Gustoća podloge | 3,93 g/cm³ |
| Maks. radna temperatura (granica premaza) | 260°C |
| Hrapavost površine (prije premazivanja) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrična čvrstoća (podloga) | 15×10⁶ V/m |
Napomena: PTFE premaz ograničava maksimalnu temperaturu na 260 °C; za primjene na višim temperaturama, razmotrite nepremazanu keramiku ili druge premaze.
Primjene:
- · Rukovanje pločicama nakon nanošenja fotorezistnog premaza (ljepljive površine)
- · Prijenos tankih ili krhkih vafla (sprečava lijepljenje)
- · Alati za inspekciju i metrologiju poluvodiča
- · Automatizacija čistih soba gdje se kontaminacija česticama mora svesti na minimum
Proizvodni proces:
Keramička podloga sinterirana i precizno brušena → hrapavost površine (plazma jetkanje ili pjeskarenje) → PTFE premaz raspršivanjem → toplinsko stvrdnjavanje na 380 °C → završna inspekcija. Svaki krajnji efektor provjerava se na debljinu premaza (vrtložna struja), prianjanje (ispitivanje poprečnim rezom ASTM D3359) i koeficijent trenja.
Kontrola kvalitete:
100% vizualni pregled na rupice ili mjehuriće; ujednačenost debljine premaza unutar ±5 μm; bez delaminacije nakon ispitivanja savijanja pod kutom od 90° na svjedočkom uzorku. Dimenzionalna provjera prema toleranciji proizvođača originalne opreme (duljina ±0,05 mm, ravnost ≤0,1 mm).
Prednosti u odnosu na nepremazane ili druge premaze:
- · Neljepljiva površina sprječava lijepljenje i lomljenje pločice
- · Najniži koeficijent trenja među keramičkim premazima
- · Izvrsna kemijska otpornost (kiseline, baze, otapala)
- · Smanjuje stvaranje čestica sprječavanjem prijenosa materijala
Ograničenja (napomene o odstupanju materijala):
PTFE premaz nije izveden iz priloženih tablica svojstava materijala (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Svojstva podloge strogo slijede priloženi podatkovni list (99,8% Al₂O₃). Svojstva premaza temelje se na industrijskim standardnim PTFE specifikacijama, budući da nisu dostavljeni podaci o premazu. Za primjene veće od 260 °C preporučuje se neobloženi keramički krajnji efektor.*
Prilagodba:
Dostupno u duljinama 150–1500 mm, oblicima vrhova (rubni hvat, Bernoulli, ravni), uzorcima prirubnica za montažu prema OEM crtežu. Djelomični premaz (samo kontaktna područja) ili potpuni premaz po izboru.
Zatražite uzorak za ispitivanje prianjanja i trenja.
