Krajnji efektor od visokočistog aluminijevog oksida s keramikom za robote za rukovanje pločicama

St.Cera-in krajnji efektor od aluminijevog oksida precizno je obrađen od 99,8% visokočistog Al₂O₃ pomoću napredne 5-osne CNC brusilice. Naše proizvodne mogućnosti uključuju precizne brusilice i CNC obradne centre, što omogućuje složene geometrije s visokom preciznošću. Krajnji efektor ima tanak profil (tanak samo 1,5 mm) sa suženim vodećim rubom za glatko umetanje pločice. Materijal pruža visoku krutost (Youngov modul 380 GPa), izvrsnu otpornost na habanje i toplinsku stabilnost do 800°C. Svaka jedinica je precizno brušena kako bi se postigla ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i površinska obrada Ra0,1, što osigurava dosljedan kontakt pločice i rad bez čestica u okruženjima poluvodičke FAB. Dostupan je u duljinama od 150 mm do 450 mm, s prilagođenim geometrijama vrha (rubni hvat, Bernoulli, ravni) i montažnim prirubnicama za pristajanje OEM robotima. Opcije površinske završne obrade uključuju preklapanje, poliranje ili ESD disipativni premaz (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Specifikacije (na temelju 99,8% Al₂O₃& proizvodni kapaciteti St.Cera):

Primjene:

• · Prijenos pločica u vakuumskim i atmosferskim robotima
• · FAB automatizacijski krajnji efektori za pločice od 200 mm/300 mm
• · Rukovanje tankim pločicama (s ESD opcijom)

Proizvodne mogućnosti:
Naši precizni brusilice i CNC obradni centri omogućuju proizvodnju složenih keramičkih komponenti sa:

• · Maksimalna duljina obrade: 1500 mm
• · Maksimalni vanjski promjer: 600 mm
• · Minimalni unutarnji promjer: 0,2 mm
• · Maksimalna debljina: 100 mm

Kontrola kvalitete:
Pravost 0,005 mm, okomitost 0,005 mm, kružnost 0,002 mm, paralelnost 0,002 mm, koncentričnost 0,01 mm provjereno CMM-om. Svaka jedinica je ultrazvučno očišćena i pakirana u čistoj sobi klase 100.