Vakuumska stezna glava od poroznog SiC-a s metalnom podlogom za rukovanje iskrivljenim i tankim pločicama

St.Cera keramička vakuumska stezna glava na bazi metala kombinira porozni keramički sloj silicij-karbida (SiC) s precizno obrađenom metalnom bazom (aluminij ili nehrđajući čelik). Porozni SiC materijal (plavo-crna, poroznost 35–40%, veličina pora 20–30 μm, propusnost 60 ml/cm²·min) osigurava jednoliku, nježnu raspodjelu vakuuma po cijeloj površini pločice, eliminirajući označavanje rubova i omogućujući beskontaktnu potporu za tanke (≤100 μm) ili iskrivljene pločice. Sloj SiC nudi nisko toplinsko širenje (3,5×10⁻⁶/℃), toplinsku stabilnost do 1000°C i umjerenu čvrstoću na savijanje (32–35 MPa). Metalna baza dodaje strukturnu krutost, jednostavnu montažu putem navojnih rupa i zaštitu od krhkog loma. Ova stezna glava idealna je za brušenje stražnje strane, rezanje na kockice i obradu pločica na visokim temperaturama gdje su ujednačeni vakuum i toplinska kompatibilnost ključni.

Specifikacije (na temelju dostavljenih podataka o poroznom SiC-u):

Napomena: Čvrstoća na savijanje je niža od gustog SiC-a zbog poroznosti. Svojstva metalne baze nisu iz keramičkih tablica.

Primjene:

• · Brušenje stražnje strane tankih pločica (≤100 μm)
• · Iskrivljeni nosač pločice za rezanje
• · Stezanje pločica na visokim temperaturama (do 1000°C)
• · Vakuumsko učvršćivanje za porozne ili krhke podloge

Proizvodnja:

Porozna SiC ploča (formirana s sredstvima za stvaranje pora, sinterirana) → polirana do ravnosti ≤10 μm → metalna baza obrađena vakuumskim otvorima i elementima za montažu → epoksidno lijepljenje ili mehaničko stezanje → ispitivanje propuštanja helija.

Kontrola kvalitete:

• · Poroznost i veličina pora potvrđene SEM-om
• · Ispitivanje propusnosti (protok zraka)
• · Ravnost mjerena laserskim interferometrom
• · Brzina curenja helija <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Prednosti u odnosu na žljebljene ili guste keramičke stezne glave:

• · Bez označavanja pločice – ujednačen vakuum bez zasebnih rupa
• · Samočisteće pore – smanjeno začepljenje
• · Rukuje iskrivljenim pločicama (do 500 μm luka)
• · Metalna baza sprječava krhki lom i pojednostavljuje integraciju

Ograničenja:

• · Niža čvrstoća na savijanje (32–35 MPa) – izbjegavajte udarno opterećenje
• · Radna temperatura ograničena na 1000 °C (porozni SiC), ali epoksidna veza na metalnoj bazi ograničena je na ≤200 °C osim ako nije mehanički stegnuta
• · Nije za vakuum visokog tlaka (porozna struktura ograničava maksimalni diferencijal vakuuma)

Prilagodba:

• · Metalna baza: aluminij (lagani), nehrđajući čelik (otporan na koroziju), Invar (nisko širenje)
• · Lijepljenje: epoksid (≤200°C) ili mehanička stezaljka (do 500°C)
• · Prsten za brtvljenje ruba za kontrolu zonskog vakuuma

Napomena: Isporučena čvrstoća na savijanje (32–35 MPa) znatno je niža od guste keramike zbog poroznosti. Pažljivo rukujte kako biste izbjegli pucanje rubova.