Keramički potporni klin za poluvodičke procesne fiksatore
St.Cera keramički potporni klinovi (također poznati kao podizni klinovi ili potporni klinovi) koriste se u komorama za poluvodičke procese za podizanje pločica ili podloga tijekom rukovanja, zagrijavanja ili hlađenja. Izrađeni od 99,8% aluminijevog oksida ili silicijevog nitrida, ovi klinovi nude visoku tlačnu čvrstoću, toplinsku stabilnost i kemijsku otpornost. Polukuglasti ili ravni dizajn vrha sprječava grebanje pločice.
Tehnički podaci(Aluminijev oksid 99,8%):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% Al₂O₃ ili Si₃N₄ |
| Duljina | 10 – 100 mm |
| Promjer | 1 – 10 mm |
| Oblik vrha | Plosnate, polukuglaste, šiljaste |
| Tlačna čvrstoća (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maks. radna temperatura (Al₂O₃) | 1600°C |
| Površinska obrada | Preklopljeno (Ra ≤0,4 μm) |
| Tolerancija promjera | ±0,01 mm |
Primjene:
Podizne igle u CVD/PVD komorama
Potporni klinovi za pečenje na grijaćoj ploči
Strukture za potporu kartica sonde
Nosači za brodove od kvarcne peći
Proizvodnja:
Precizno bescentrično brušenje vanjskog promjera → dijamantno brušenje profila vrha → ultrazvučno čišćenje → 100%-tna dimenzijska kontrola.
Kontrola kvalitete:
CMM za duljinu/promjer, optički komparator za radijus vrha, ispitivanje opterećenjem za provjeru tlačne čvrstoće (slučajni uzorak po seriji). Nema feromagnetske kontaminacije (provjereno magnetom).
Prednosti u odnosu na metalne ili kvarcne igle:
5 puta dulji vijek trajanja od nehrđajućeg čelika
Nema kontaminacije metalom u procesnoj komori
Sposobnost podnošenja većih temperatura od kvarca (1600°C u odnosu na 1100°C)
Neljepljiva površina (smanjeno prianjanje čestica)
Prilagodba:
Višestruki profili vrhova, navojna baza ili konusna osovina.
Također isporučujemo SiC pinove za ekstremne plazma okruženja.
