ST.CERA Prilagođeni poluvodički keramički fokusni prsten
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijeve keramike, oblikovane hladnim izostatskim prešanjem i sinterirane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme sa svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije.
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
