Keramička ploča od aluminijevog oksida velikog formata za poluvodičke i industrijske uređaje
St.Cera proizvodi keramičke ploče velikog formata od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće s maksimalnim dimenzijama do 1500 mm duljine i 600 mm širine. Naše mogućnosti preciznog brušenja postižu ravnost od 0,003 mm na 100 mm i paralelnost od 0,002 mm, osiguravajući konzistentnu kvalitetu površine za primjene na velikim površinama. Debljina do 100 mm, završna obrada površine do Ra0,1. Ove ploče služe kao podnožja vakuumskih steznih glava, ploče za grijanje, ploče za električnu izolaciju i podovi procesnih komora u proizvodnji poluvodiča, zaslona i fotonaponskih sustava. Dostupni su prolazni otvori, udubljenja i profiliranje rubova.
Specifikacije (na temelju 99,8% Al₂O₃& proizvodni kapaciteti St.Cera):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijev oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Fleksibilna čvrstoća | 361 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Dielektrična čvrstoća | 15×10⁶ V/m |
| Maksimalna duljina | 1500 mm |
| Maksimalna širina | 600 mm |
| Maksimalna debljina | 100 mm |
| Ravnost (na 100 mm) | 0,003 mm |
| Paralelizam | 0,002 mm |
| Površinska obrada | Ra0.1 (polirano/prekriveno) |
| Maks. radna temperatura | 1600°C |
Primjene:
- · Vakuumske stezne ploče za velike pločice i panele
- · Grijaće ploče za opremu za termičku obradu
- · Električne izolacijske ploče u visokonaponskim sustavima
- · Podovi i obloge procesnih komora
Preciznost proizvodnje:
Pravost: 0,005 mm, okomitost: 0,005 mm, provjereno laserskim interferometrom.
Prednosti u odnosu na metalne ploče:
- · Nema metalne kontaminacije – ključno za poluvodičke procese
- · Bez ispuštanja plinova – idealno za vakuumska okruženja
- · Vrhunska otpornost na habanje i kemikalije
Prilagodba:
Dostupni su prilagođeni uzorci rupa, profili rubova, stepenaste površine i metalizirana područja za montažu.
