-
ST.CERA Prilagođena poluvodička oprema Keramičke stezne glave
Kritični procesi u području poluvodiča moraju se provoditi u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uvjetima visoke temperature, vakuuma i korozivnog plina. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i kemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođena poluvodička oprema Keramička ploča
Kritični procesi u području poluvodiča moraju se provoditi u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uvjetima visoke temperature, vakuuma i korozivnog plina. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i kemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođeni keramički poluvodički prsten za fokusiranje
Kritični procesi u području poluvodiča moraju se provoditi u čistim sobama, posebno za one uređaje koji se koriste u uvjetima visoke temperature, vakuuma i korozivnog plina. Keramika može održati visoku stabilnost u složenom fizičkom i kemijskom okruženju.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ruka za utovar od 99,5% aluminijevog oksida
Keramički krajnji efektor / ruka za rukovanje ugrađena je na robota za rukovanje pločicama ili "krajnje efektore" i koristi se za prenošenje silicijskih pločica u ili iz kaseta ili procesnih komora.
Prednosti korištenja keramike su smanjenje otklona zbog visoke čvrstoće na savijanje, otpornost na visoke temperature i uklanjanje metalne kontaminacije i čestica. -
ST.CERA Prilagođeni krajnji efektor od aluminijeve keramike
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore. Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođeni poluvodički keramički fokusni prsten
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijeve keramike, oblikovane hladnim izostatskim prešanjem i sinterirane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme sa svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije.
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođena precizna poluvodička keramička čahura od aluminijevog oksida
Izrađeni od visokočiste (iznad 99,5%) aluminijeve keramike, oblikovane hladnim izostatskim prešanjem i sinterirane pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme sa svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije.
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođeni vakuumski krajnji efektor od aluminijevog keramičkog oksida
Ovo je keramički krajnji efektor / rukovalačka ruka u obliku ladice koja se koristi u vakuumskim uvjetima.
Keramička krajnja efektorska/rukujuća ruka je „otpornija na toplinu“, „manje se otklanja“ i „lakša“ u usporedbi s metalnim.
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke cijevi i keramičke šipke od 99,5% aluminijevog oksida
S karakteristikama otpornosti na visoke temperature, koroziju, abraziju i izolaciju, keramika može dugo raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođeno rukovanje pločicama za krajnje efektore od aluminijevog oksida
ST.CERA nudi ESD premaz i ESD keramički materijal za krajnje efektore/ruke s ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od onečišćenja, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / ruka za rukovanje sa posebnom tehnologijom premaza je električno izolirana. Također možemo isporučiti ESD keramički materijal koji je električno izoliran bez ikakvog premaza.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃. -
Komponente poluvodičke opreme od aluminijevog keramičkog krajnjeg efektora
Spriječite čestice koje se mogu stvarati s kosih ili nagnutih rubova i stražnje površine dok se pločice transportiraju ili su u kontaktu s krajnjim efektorom / rukom.
Za vodilice je korišten mekani materijal koji ne oštećuje pločicu.
Razrjeđivanje je moguće zahvaljujući ST.CERA-inoj ugrađenoj tehnologiji vakuumskih kanala koja ne koristi ljepila.
Moguće je napraviti rupe za montažu i promijeniti duljinu i širinu baze gdje se krajnji efektor / rukojujuća ruka montira na robota.
Montaža senzora, vijaka i nosača dostupna je kao opcija.
Dizajniran za upotrebu u atmosferi.
-
Prilagođena CNC obrada St.Cera keramičkog krajnjeg efektora
ST.CERA nudi vakuumski keramički krajnji efektor / ruku za rukovanje s ugrađenim šupljim kanalom. Specijalizirani smo za tehniku koja formira vakuumski zračni kanal unutar jednog komada materijala bez upotrebe ljepila.
Ne postoji rizik od onečišćenja, ispuštanja plinova ili čestica. ST.CERA vakuumski krajnji efektor / rukovalačka ruka s ugrađenim kanalom je izdržljiva i može se koristiti na visokim temperaturama. Štoviše, naši troškovi proizvodnje mogu se smanjiti uklanjanjem nepotrebne montaže.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
