Keramički brtveni prsten visoke čistoće od aluminijevog oksida za brtvljenje komore visoke temperature
St.Cera keramički brtveni prsten dizajniran je kao alternativa polimernim O-prstenovima u ekstremnim okruženjima gdje se elastomeri degradiraju. Izrađen od 99,8% aluminijevog oksida visoke čistoće (Al₂O₃), ovaj kruti brtveni prsten koristi se u statičkom brtvljenju - obično uparen s brtvom od mekog metala ili grafita - kako bi se osiguralo pouzdano zadržavanje vakuuma ili plina na temperaturama do 800 °C i u agresivnim plazma ili kemijskim okruženjima. Materijal nudi nulto ispuštanje plinova, visoku tlačnu čvrstoću (osnovna čvrstoća na savijanje 361 MPa) i kemijsku inertnost (otporan na halogene, kiseline i lužine osim HF). Precizno preklopljene brtvene površine (ravnost ≤5 μm, hrapavost površine Ra ≤0,2 μm) osiguravaju nepropusni kontakt sa spojnim metalnim ili keramičkim komponentama.
Tehnički podaci(na temelju 99,8% Al₂O₃):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | 99,8% aluminijev oksid (slonova kost) |
| Gustoća | 3,93 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Fleksibilna čvrstoća | 361 MPa |
| Tlačna čvrstoća (procjena) | >2000 MPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 16 GPa |
| Toplinsko širenje (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimalna radna temperatura | 800°C (zrak), 1600°C (inert) |
| Površinska obrada (brtvena površina) | Ra ≤0,2 μm (preklopljeno) |
| Ravnost (po 25 mm) | ≤5 μm |
| Stopa curenja helija | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (s odgovarajućom brtvom) |
Primjene:
- · Statička brtvila za poluvodičke procesne komore (CVD, PVD, jetkanje)
- · Brtve vrata peći otporne na visoke temperature
- · Vakuumske prolazne prirubnice
- · Zatvarači kemijskih reaktorskih posuda
Proizvodni proces:
Izostatsko prešanje → sinteriranje na 1600 °C → precizno dvostrano preklapanje za postizanje ultra ravnih, glatkih brtvenih površina → zakošavanje rubova → ultrazvučno čišćenje. Svaki prsten je 100% ispitan na nepropusnost na detektoru curenja helija sa standardnom metalnom brtvom.
Kontrola kvalitete:
- · Dimenzionalna provjera CMM-a (unutarnji promjer, vanjski promjer, debljina, paralelnost)
- · Površinski profilometar za Ra i valovitost
- · Mjerenje ravnosti optičkim sredstvom za mjerenje ravnosti
- · Ispitivanje propuštanja helija (metoda povratnog tlaka)
Prednosti u odnosu na polimerne O-prstenove:
- · Podnosi 800°C naspram <300°C za FFKM
- · Bez ispuštanja plinova — nema onečišćenja vakuumskog okruženja
- · Otporan na sve plazma kemikalije (fluor, klor, kisik)
- · Nema kompresijskog zatezanja ili trajne deformacije
- · Neograničen vijek trajanja u čistim okruženjima
Ograničenja (kritičke primjedbe):
- · Nije O-prsten— to je kruti keramički prsten koji za brtvljenje zahtijeva meku brtvu (bakar, aluminij ili grafit).
- · Ne prilagođava se dinamičkom kretanju ili velikom neusklađenju prirubnica.
- · Viši početni trošak od polimernih O-prstenova, ali dulji vijek trajanja smanjuje troškove vlasništva.
- · Krhko — pažljivo rukujte; izbjegavajte točkaste udarce ili naprezanje savijanjem.
Bilješka:Gore navedeni podaci strogo slijede priloženu tablicu svojstava Al₂O₃. Nisu navedeni podaci za elastomerne materijale. Ovaj proizvod je statički brtveni prsten, a ne elastomerni O-prsten. Molimo potvrdite ispunjava li ovo vaše zahtjeve primjene.
