Vakuumska stezna glava na bazi silicijevog karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a izrađena je od silicijevog karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu savojnu čvrstoću od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska vodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućuju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tijekom termičkog cikliranja. Stezna glava može se konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (jednoličan protok plina) ili standardna stezna glava s utorima. S maksimalnom temperaturom korištenja od 1600–1700 °C (bez opterećenja) i iznimnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava idealna je za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za jetkanje gdje se aluminijeve stezne glave degradiraju.
Tehnički podaci(na temelju dostavljenog izvješća o ispitivanju SiC S1111 i tipičnih vrijednosti):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | SiC (99,72% SiC, 0,05% slobodnog Si) |
| Gustoća | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Fleksibilna čvrstoća | 449 MPa |
| Žilavost na lom | 3,12 MPa·m¹/² |
| Modul elastičnosti | 457 GPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 25–28 GPa |
| Toplinska vodljivost | 120–150 W/m·K |
| KTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. temperatura korištenja (bez opterećenja) | 1600–1700 °C |
| Ravnost (preko 300 mm) | ≤5 μm |
| Površinska obrada | Ra ≤0,4 μm (preklopljeno) |
Primjene:
● Stezanje na visokim temperaturama (žarenje, RTP, epitaksijalni rast)
● Stezna glava za plazma jetkanje s visokom otpornošću na fluor
● Rukovanje tankim pločicama s ravnomjernim zagrijavanjem/hlađenjem
● Porozna stezna glava za beskontaktnu potporu pločice
Proizvodnja:
SiC sinteriranje → precizno brušenje ravnosti i profila površine → opcionalno formiranje porozne strukture (za vakuumsku steznu glavu) → lepanje → ultrazvučno čišćenje. Svaka stezna glava je 100% pregledana na ravnost (laserski interferometar) i ujednačenost vakuuma (test protoka).
Kontrola kvalitete:
● Dimenzionalna provjera CMM-a (promjer, debljina, položaji rupa)
● Mjerenje ravnosti prema ASTM-u
● Ispitivanje curenja helija (za vakuumske stezne glave)
● Provjera čvrstoće na savijanje po seriji (ref. izvješće o ispitivanju)
Prednosti u odnosu na aluminijske stezne glave:
● Veća toplinska vodljivost (120–150 u odnosu na 32 W/m·K za aluminijev oksid) – 4× brži prijenos topline
● Niži CTE (4,0 vs 7,2×10⁻⁶/℃) – smanjuje toplinsko naprezanje pločice
● Vrhunska otpornost na plazmu – 10× dulji vijek trajanja u fluornom jetkanju
● Viša maksimalna temperatura upotrebe (1600 °C u odnosu na 800 °C za aluminijev oksid)
Prilagodba:
● Porozna ili žljebljena površina
● Promjer 100–450 mm, okrugli ili kvadratni
● Prsten za brtvljenje rubova ili zonske vakuumske pregrade
● Opcija metalne podloge za visoku čvrstoću montaže
Svi gore navedeni mehanički podaci potječu iz priloženog izvješća o ispitivanju (serija S1111). Toplinske vrijednosti i vrijednosti tvrdoće tipične su za ovu vrstu SiC-a. Porozne SiC stezne glave zahtijevaju dodatnu obradu; molimo raspitajte se o dostupnosti specifične poroznosti i veličine pora.
