Keramički krajnji efektor od silicijevog karbida (SiC) – visoka krutost za rukovanje pločicama na visokim temperaturama
St.Cera SiC keramički krajnji efektor izrađen je od silicijevog karbida visoke čistoće (udio SiC-a 99,72%, slobodnog Si 0,05%) korištenjem materijala S1111. Nudi iznimna mehanička svojstva: čvrstoću na savijanje 449 MPa (izmjereno), modul elastičnosti 457 GPa (izmjereno) i tvrdoću po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Niska gustoća (3,10–3,15 g/cm³, tipično) pruža visoku specifičnu krutost, idealnu za robote za brzi prijenos pločica. S toplinskom vodljivošću od 120–150 W/m·K (tipično) i koeficijentom toplinskog širenja od 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično), ovaj krajnji efektor učinkovito odvodi toplinu i održava dimenzijsku stabilnost tijekom rukovanja na visokim temperaturama (do 1600–1700°C, bez opterećenja). Crno/siva boja i nulta apsorpcija vode osiguravaju kompatibilnost s čistim sobama.
Tehnički podaci(na temelju dostavljenog izvješća o ispitivanju SiC S1111 i tipičnih vrijednosti):
| Nekretnina | Vrijednost |
| Materijal | SiC (99,72% SiC, 0,05% slobodnog Si) |
| Boja | Crna/Siva |
| Gustoća | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Apsorpcija vode | 0% |
| Fleksibilna čvrstoća | 449 MPa (prosjek) |
| Žilavost na lom | 3,12 MPa·m¹/² (prosjek) |
| Modul elastičnosti | 457 GPa |
| Tvrdoća po Vickersu | 25–28 GPa |
| Toplinska vodljivost (25°C) | 120–150 W/m·K |
| KTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maks. temperatura korištenja (bez opterećenja) | 1600–1700 °C |
Primjene:
● Rukovanje pločicama na visokim temperaturama (nakon žarenja, RTP, epitaksija)
● Komore za plazma jetkanje koje zahtijevaju visoku otpornost na eroziju
● Roboti za brzi transfer (lagani, visoke krutosti)
Proizvodnja:
Sinteriranje SiC praha → precizno CNC brušenje profila kraka i elemenata montaže → površinsko lepanje → ultrazvučno čišćenje. 100%-tna dimenzijska inspekcija i ispitivanje curenja helijem za vakuumske primjene.
Kontrola kvalitete:
● Inspekcija duljine, širine i ravnosti CMM-om
● Ispitivanje savojne čvrstoće po seriji (prema standardu izvješća o ispitivanju)
● Vizualni pregled pod mikroskopom na površinske nedostatke
Prednosti u odnosu na aluminijev oksid ili metal:
● 2× veći modul elastičnosti (457 u odnosu na ~380 GPa za aluminijev oksid) – manji otklon
● 3× veća toplinska vodljivost – brže odvođenje topline
● Otporan na >1600°C u usporedbi s 800°C aluminijevog oksida na zraku
● Manja gustoća od čelika – 40% manje težine
Prilagodba:
Duljine 150–450 mm, oblici vrhova (rubni hvat, Bernoullijev, ravni), uzorci prirubnica za montažu prema OEM crtežu.
*Svi gore navedeni mehanički podaci potječu iz priloženog izvješća o ispitivanju (serija S1111). Toplinske vrijednosti i vrijednosti tvrdoće tipične su za ovu vrstu SiC-a; molimo kontaktirajte nas za certifikaciju specifičnu za seriju.*
