Fokusni prsten od visokočistog aluminijevog oksida za sustave plazma jetkanja i CVD-a

St.Cerin prsten za fokusiranje komore ključna je komponenta procesnog kompleta koja se koristi u opremi za plazma jetkanje, CVD i PVD poluvodičke tehnike. Izrađen od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃), prsten okružuje rub pločice kako bi ograničio plazmu i optimizirao kutnu raspodjelu iona, čime se poboljšava ujednačenost jetkanja po površini pločice. Materijal nudi iznimnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i toplinsku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora ili klora. Precizno brušeni unutarnji/vanjski promjer i ravnost (≤10 μm) omogućuju precizno pozicioniranje rubova pločice, smanjujući nedostatke rubova i stvaranje čestica.

Tehnički podaci(na temelju 99,8% Al₂O₃):

Primjene:

• · Fokusni prstenovi komore za dielektrično jetkanje (oksidno, nitridno jetkanje)
• · Rubni prstenovi silicijske komore za jetkanje
• · Prstenovi kompleta za proces CVD komore
• · PVD štitnik komore i stezni prstenovi

Proizvodni proces:

Prah aluminijevog oksida visoke čistoće se izostatički preša → zeleno obrađuje do gotovo čistog oblika → sinterira na 1600 °C → CNC dijamantno brušenje unutarnjeg i vanjskog promjera te debljine → preklapanje za postizanje ravnosti ≤10 μm → ultrazvučno čišćenje → 100% CMM inspekcija. Površinska obrada Ra ≤0,4 μm minimizira prianjanje čestica.

Kontrola kvalitete:

• · 100%-tna dimenzijska inspekcija (unutarnji promjer, vanjski promjer, debljina, paralelnost)
• · Ispitivanje penetrantom boje na mikropukotine (pukotine nisu dopuštene)
• · Vizualni pregled pod mikroskopom s povećanjem od 20× - bez krhotina, šupljina ili promjena boje
• · Ispitivanje dielektrične čvrstoće prema ASTM D149 (uzorkovanje)

Prednosti u odnosu na silikonske ili kvarcne prstenove za fokusiranje:

• · 5–10× dulji vijek trajanja u fluorougljičnoj plazmi
• · Nema potrošnih čestica erozije koje bi kontaminirale pločice
• · Veća dielektrična čvrstoća sprječava iskrenje
• · Održava ravnost i dimenzijsku točnost tijekom tisuća RF sati

Alternativni materijal — cirkonijev oksid stabiliziran itrijom (ZrO₂):

Za primjene koje zahtijevaju veću žilavost na lom (npr. komore s čestim toplinskim ciklusima ili mehaničkim udarima), dostupni su ZrO₂ fokusni prstenovi (gustoća 6,03 g/cm³, čvrstoća na savijanje 1000 MPa, žilavost na lom 5–8 MPa·m¹/²). Međutim, aluminijev oksid nudi bolju isplativost i industrijski je standard za većinu primjena fokusnih prstenova.

Prilagodba:

• · Stepenasti profili, upušteni otvori ili montažne rupe prema crtežu kupca
• · Premaz Y₂O₃ za poboljšanu otpornost na eroziju plazmom (debljina 20–100 μm)
• · Lasersko označavanje broja dijela, datuma ili oznaka za poravnanje

Bilješka:Svi podaci strogo slijede priloženu tablicu svojstava Al₂O₃. Za specifikacije ZrO₂ pogledajte priloženi podatkovni list cirkonija. Dizajni fokusnih prstenova mogu zahtijevati odobrenje patenta - kupci su odgovorni za provjeru prava intelektualnog vlasništva.