-
Keramički dijelovi od visokopreciznog keramičkog prstena od aluminijevog oksida
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke stezne glave za poluvodičku opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Keramički krajnji efektor od silicijevog karbida (SiC) – visoka krutost za rukovanje pločicama na visokim temperaturama
St.Cera SiC keramički krajnji efektor izrađen je od silicijevog karbida visoke čistoće (udio SiC-a 99,72%, slobodnog Si 0,05%) korištenjem materijala S1111. Nudi iznimna mehanička svojstva: čvrstoću na savijanje 449 MPa (izmjereno), modul elastičnosti 457 GPa (izmjereno) i tvrdoću po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Niska gustoća (3,10–3,15 g/cm³, tipično) pruža visoku specifičnu krutost, idealnu za robote za brzi prijenos pločica. S toplinskom vodljivošću od 120–150 W/m·K (tipično) i koeficijentom toplinskog širenja od 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično), ovaj krajnji efektor učinkovito odvodi toplinu i održava dimenzijsku stabilnost tijekom rukovanja na visokim temperaturama (do 1600–1700°C, bez opterećenja). Crno/siva boja i nulta apsorpcija vode osiguravaju kompatibilnost s čistim sobama.
-
Vakuumska stezna glava na bazi silicijevog karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a izrađena je od silicijevog karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu savojnu čvrstoću od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska vodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućuju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tijekom termičkog cikliranja. Stezna glava može se konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (jednoličan protok plina) ili standardna stezna glava s utorima. S maksimalnom temperaturom korištenja od 1600–1700 °C (bez opterećenja) i iznimnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava idealna je za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za jetkanje gdje se aluminijeve stezne glave degradiraju.
-
Poluvodička oprema Keramički rezervni dijelovi Keramički nosači
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Metalni keramički brusni prsten od aluminijevog oksida za primjene poliranja visoke krutosti
St.Cera brusni prsten od metalnog oksida kombinira keramički sloj od oksida visoke čistoće (99,8% Al₂O₃) s precizno obrađenom metalnom podlogom (obično aluminij ili nehrđajući čelik). Ovaj hibridni dizajn pruža iznimnu otpornost na habanje i kemijsku inertnost keramike na površini za brušenje, dok metalna baza dodaje mehaničku čvrstoću, jednostavnu montažu i otpornost na krhki lom. Sloj oksida nudi savojnu čvrstoću od 361 MPa, tvrdoću po Vickersu od 16 GPa i toplinsku stabilnost do 800°C. Metalna baza je prilagođena s rupama za montažu, locirajućim klinovima ili magnetskim svojstvima za integraciju u strojeve za lepanje, planetarne brusilice i CMP opremu.
-
Keramički rezervni dijelovi za opremu poluvodičkih sondi
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Prilagođena obrada Al2O3 keramičke pločice za stezanje
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ploča za poluvodičku opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm
St.Cera 12-inčna vakuumska stezna glava precizno je konstruirana od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino utoranu površinu (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućuje fiksiranje pločice bez savijanja tijekom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala jamče dugoročnu dimenzijsku stabilnost čak i pod ponovljenim ciklusima vakuumiranja.
-
Krajnji efektor od aluminijeve keramike s integriranim vakuumskim kanalima
St.Cera vakuumski krajnji efektor od aluminijevog oksida integrira precizno obrađene vakuumske kanale i usisne otvore izravno u tijelo od aluminijevog oksida visoke čistoće 99,8%. Ovaj dizajn eliminira vanjske vakuumske pločice, omogućujući izravno hvatanje pločice s ujednačenom silom držanja. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala osiguravaju dugoročnu dimenzijsku stabilnost pod ponovljenim ciklusima vakuuma. Ravnost preko površine pločice održava se unutar 10 μm, sprječavajući naprezanje i lom pločice. Vakuumski otvori nalaze se na stražnjoj montažnoj prirubnici radi jednostavne integracije s OEM robotskim rukama.
-
ESD-sigurni aluminijevi keramički dijelovi za rukovanje statički osjetljivim pločicama
St.Cera keramički dijelovi od aluminijevog oksida sigurni od elektrostatičkog pražnjenja (ESD) izrađeni su od 99,8% visokočistog Al₂O₃ s prilagođenom površinskom otpornošću od 10⁶–10⁹ Ω/sq, postignutom patentiranim postupkom dopiranja ili premazivanja. Ovi dijelovi učinkovito raspršuju statički naboj, sprječavajući elektrostatičko oštećenje osjetljivih poluvodičkih pločica i uređaja. Osnovni materijal zadržava svoju visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa), tvrdoću (16 GPa) i dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m). Keramički dijelovi sigurni od ESD-a uključuju krajnje efektore, klinove za podizanje, vodilice i prilagođene učvršćivače za FAB automatizaciju.
